半導體設備有哪些地方需要潤滑？

在晶圓製造工廠中，晶片的傳輸通常透過自動化物料搬運系統（AMHS）完成，將晶圓準確送達指定站點，隨後由晶圓傳輸模組將其移載至各項製程設備進行加工。整個流程實現高度自動化，對於設備的定位精度、動作穩定性與可靠性皆有極高要求。

任何一個環節發生異常，可能不僅影響單一工序的良率，更可能造成後段製程的連鎖錯誤與產線停滯，對整體生產效率與出貨進度產生重大影響。因此，確保關鍵傳動與運動部件的穩定運行，是保障晶圓廠運作順暢的核心關鍵之一。

在晶片的搬運與製程傳輸過程中，導軌、滾珠螺桿、軸承與齒輪等傳動部件扮演著關鍵角色。這些機構不僅運轉頻繁，且對精度要求極高。其中許多潤滑部位裸露於空氣中，一旦出現潤滑脂飛濺，將可能污染晶圓表面、影響良率。

為應對這類應用需求，BRUGAROLAS有一系列G.BESLUX FLUOR專業潤滑解決方案，具備以下特點：

• 極低除氣率與低分油率，適用於潔淨與真空環境
• 高附著力，有效避免飛濺與揮發污染
• 超低啟動與運轉扭矩，可防止卡頓現象，適用於高速啟停與瞬時加速應用場景

此外，針對如 爐管、CVD（化學氣相沉積）、離子注入與退火系統 等高溫製程設備，西班牙老鷹也具備以下耐高溫潤滑脂系列：

• G.BESLUX PLEX
• G.BESLUX PLEXBAR

這些產品可在高溫與高真空條件下，提供穩定、長效的潤滑性能，有效降低維護頻率，保障製程連續性與良率穩定，是半導體先進製程設備的理想選擇。

半導體廠還有什麼潤滑點容易被忽略的？

機械手臂：機械手臂在運作過程中涉及大量高速、反覆的旋轉與滑動動作，潤滑劑的作用是減少零件間的摩擦與磨損，確保運動順暢、定位精準。若缺乏適當潤滑，不僅會導致關節、軸承、齒輪等部件磨耗加劇，產生異音與震動，還可能因過熱或卡滯造成設備故障，進而影響產線穩定性與產品良率。長期下來，也會大幅增加維修頻率與停機成本，對高精度自動化設備而言尤為致命。老鷹G.BESLUX RBT-0 與RBT-00 在國際品牌機械手臂長期穩定案例，也是機械手臂製造商初裝OEM的不二選擇。

油品分析：潤滑油不像設備故障那樣有即時明顯的表徵，許多企業在未見異常前，往往低估其潛在風險與維護價值。然而，隨著設備微污染容忍度愈來愈低，油品若因老化、污染或失效而產生微粒、酸化或揮發物，將可能對高精密製程構成污染風險。

在半導體廠中，真空幫浦、爐管傳動系統、CVD設備、機械手臂、AMHS傳輸模組、光學平台與乾式泵浦等關鍵部位皆涉及潤滑油或潤滑脂使用。這些位置若未定期進行油品分析與健康監測，潤滑劑劣化可能導致設備精度下降、產生微污染，進一步影響良率與機台稼動率。因此，在導入TPM或預知保養（PdM）策略時，油品分析應作為不可或缺的一環。我們與國際知名第三方「潤滑油專精分析」實驗室合作，至今為無數企業節省成本或提早警告設備狀況，避免停線損失。