半導體製程的潤滑：無懼限用物質法規的安心選擇
我們深知客戶的擔憂：限用物質
限用物質（Restricted Substances）是指在特定情況下限制使用的化學物質或材料，通常是因為它們對人類健康、環境或安全可能構成危害。以下是一些主要原因：
1. 保護健康
許多物質對人體有害，例如：
- 有毒物質：如鉛、汞和六價鎘(Cr6+)，可能導致中毒、癌症或神經系統損害。
- 致敏物質：某些化學物質可能引發過敏反應或慢性疾病。
- 內分泌干擾物：某些化合物可能干擾人體的激素系統，如雙酚A（BPA）。
2. 減少環境影響
有些物質對環境具有持續性污染性或破壞性：
- 生物累積性：例如，某些重金屬或有機化學物質會在食物鏈中累積，危害生態系統。
- 持久性污染物：如氟氯化碳（CFCs）會破壞臭氧層，對全球氣候產生影響。
3. 保護消費者
限用物質能確保產品對用戶是安全的，例如：
- 減少兒童玩具中的有毒材料。
- 確保食品包裝中無有害物質遷移到食物中。
4. 符合國際法規
許多國家和地區制定了相關的法律和標準來限制某些物質的使用，例如：
- 歐盟的RoHS指令（限制電子電氣設備中有害物質的使用）。
- REACH法規（化學品的註冊、評估、授權和限制）。
- 美國的TSCA（有毒物質控制法）。
5. 促進可持續發展，企業ESG
限制有害物質有助於減少資源浪費和污染，促進綠色經濟和循環經濟的發展。歐盟推出ECOLABEL標章等。
6. 保障工作安全
某些工業物質在生產過程中可能危害工人健康，如石棉、苯等，限制它們的使用可減少職業病的發生。
半導體製程潤滑劑的選用，有什麼考量點？
1. 揮發性與殘留控制
- 潤滑劑必須 低揮發 (low volatility)，避免產生揮發物 (VOC) 或油霧沉積在晶圓、光罩或真空腔體中。
- 要有 低殘渣 (low outgassing, low particle generation)，特別是在真空與高溫環境，避免形成有機殘留污染。
2. 化學惰性與材料相容性
- 需與 強酸鹼、光阻劑、溶劑 (IPA、acetone) 等常見化學品相容，不反應、不分解。
- 對 塑料 (PEEK、PTFE)、陶瓷、金屬 (不銹鋼、鋁合金) 等設備材料無腐蝕性。
- 常選用 PFPE (perfluoropolyether) 類潤滑劑，因其化學惰性與真空穩定性佳。
3. 真空與高溫穩定性
- 半導體設備常在 高真空 (10⁻⁶ mbar 等級) 或高溫 (>200 °C) 下工作，潤滑劑需能保持穩定，避免分解。
- PFPE、矽油等合成基油常用於真空泵浦、load-lock、wafer handler 機構。
4. 微動與阻尼性能
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許多精密定位部件（如 stepper/scanner、robot arm、線性導軌）需要潤滑劑提供 均勻阻尼與平順運動，避免 stick-slip（爬行現象），確保奈米級對位精度。
5. 低顆粒生成
- 潤滑油不得因剪切、蒸發、降解產生顆粒污染，否則會造成 yield loss (良率下降)。
- 必須通過 Cleanroom 評估，並搭配潔淨包裝。
6. 壽命與維護週期
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設備維護成本高，潤滑劑需具 長壽命、低更換頻率，減少開機停線風險。
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- 低氣味
- 現場安全
- 降低綜合成本
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